FR係列減壓(yā)閥：五大優勢 賦(fù)能半導體氣體輸送
2024-01-22 10:35:43
半導體(tǐ)製造的工藝過程(chéng)錯綜復雜，所需精度和控製水平極高·與設定參數的(dí)任何細小偏離😷，都可能導致產品缺陷或(huò)不合格·以晶圓各層的沉(chén)積，蝕刻以及清洗等工藝為例，通過合適的壓力和流量輸送所需(xū)氣體(tǐ)🧉，對於確(què)保高效工藝和(hé)優良效果至關重要。
減壓(yā)閥(fá)成為破(pò)局的關鍵部(bù)件之一。減壓閥(fá)以恒定壓力😜，將氣體穩定地輸送至工藝設備。壓力越穩定，質(zhì)量流量控(kòng)製器(qì)的性(xìng)能就越強(qiáng)，向工藝腔體輸(shū)送的氣體量也就(jiù)越準確·此外，還有助(zhù)於(yú)降低汙染風險🎖，營造受控的清(qīng)潔(jié)環境。
減壓閥種類繁(fán)多，而半導體製造相關工藝通常選用不鏽(xiù)鋼減壓閥。派克漢尼汾旗下的FR係(xì)列減(jiǎn)壓閥憑借五大優勢，成為眾多(duō)半導體工廠的理想(xiǎng)之(zhī)選，該(gāi)係列減(jiǎn)壓閥尤其適用於需超高純(UHP)部件的工(gōng)藝過程📛。
五大(dà)優勢 賦能半導體氣體(tǐ)輸(shū)送
通用(yòng)的閥體設計
該設計讓減壓(yā)閥(fá)可輕鬆集成到各種係統，廣泛的流速和壓力範(fàn)圍使(shǐ)得靈活性更大，應用範圍廣
循環壽命長
采用Hastelloy C-22合金膜(mó)🍺，耐腐(fǔ)蝕性強，整體循環壽(shòu)命提升。Hastelloy材(cái)料高(gāo)度耐用且耐腐，無懼惡劣環境和高壓(yā)循環。
安全可靠
采用金屬對(duì)金(jīn)屬密封膜片😤，防泄漏性能優秀，為安全可靠(kào)的運行保駕護航(háng)。發貨(huò)前通過氨氣泄漏測試，安全(quán)可靠，性能出眾。
優異的適應(yīng)性
多種接頭(tóu)尺寸和類型可選(xuǎn)，能適配不同類(lèi)型的管道而無需額(é)外接頭或連接件。同時，還能提供NPT螺紋標準產品。
精確控製 無懼挑(tiāo)戰
有了五(wǔ)大優勢(shì)加持(chí)，FR係列減壓(yā)閥可(kě)為(wéi)半導體製造過程中(zhōng)的氣體傳輸，尤其是超高壓半導體(tǐ)氣體輸送提供精確的壓力(lì)控製，是眾多應用的理想之選
1.使用點應用
使用點應用是半導(dǎo)體製(zhì)造中減(jiǎn)壓閥的(dí)常見用途(tú)😨。在(zài)使(shǐ)用點應用中🚠，減壓(yā)伐直接安裝在工藝腔體的(dí)氣體管道上。
FR係列減壓閥采用通用(yòng)閥體設計，易於安裝和維護，通過精確穩(wěn)定的壓力控製，有助於(yú)實現精確(què)的半導體加(jiā)工是使(shǐ)用點應用的理想之選。尤其是FR1000和FR1400減壓閥(fá)，能提供較高流(liú)量，快速向(xiàng)工(gōng)藝(yì)室輸送大量氣體(tǐ)，非(fēi)常(cháng)適合等(děng)離子(zǐ)體(tǐ)蝕刻或化學氣相沉積(jī)等(děng)要求(qiú)高氣體流速的工藝。
2 設備二次配(預製管路)
在(zài)一些半導體製造工藝中，氣體(tǐ)輸送(sòng)係統會與預製管理進行配管相連🕪，預製管路方便(biàn)用戶輕鬆連(lián)接並斷開(kāi)氣體管道。
FR減壓閥外形小巧，可以直(zhí)接安裝在預(yù)製管路上，為使用點提供精確穩定的壓力控製。減壓閥采用的模(mó)塊化設計，易於維護和維修，對於需頻(pín)繁更換(huàn)設備或(huò)空間有(yǒu)限的工(gōng)藝來說，是理想之選。
3.VMBS.VMPS.GIBS
半導(dǎo)體製造所(suǒ)用(yòng)的閥門分配箱，閥門(mén)分配麵板和(hé)氣體隔離箱可用於控製流向工藝腔體的氣(qì)體(tǐ)。這些裝置還可以隔離氣體管道，以方便維(wéi)護或(huò)維(wéi)修。FR減壓閥結構緊(jǐn)湊，重量輕💣，可(kě)輕鬆安裝在閥門分配箱，閥門分配麵板和氣體隔離箱上，為(wéi)它們提供精確穩定的壓力控製。這些減壓閥(fá)還可以處(chǔ)理各種氣體，用途廠泛，適用於多種半導體工藝。
4.氣瓶櫃&大宗特種氣體係統
氣瓶(píng)櫃(guì)用於存儲特種氣體並將其輸送到工藝室(shì)，而大宗特種氣體係統則用於存(cún)儲並輸送到工藝腔體的特(tè)種氣體FR減壓閥外形小巧🐆，可直接安裝(zhuāng)在氣瓶櫃或大宗特種氣體係統上，為它們提(tí)供(gōng)精確穩(wěn)定(dìng)的壓力控製🍮，非常(cháng)適合(hé)那些需要穩定特(tè)種氣體流量或大量特種氣體的工藝·同(tóng)時，它們適(shì)用於腐蝕性氣體及有毒(dú)氣體等不同氣體(tǐ)，可用於多(duō)種半導體工藝(yì)。FR係列減壓閥可提供較高的流量😿，快速向(xiàng)工藝室(shì)輸送大(dà)量氣(qì)體👝。
