小部件(jiàn)有大學問
2019-03-19 09:31:19
從(cóng)智能手(shǒu)機(jī)到產業機器(qì)人，再到(dào)超級計算機(jī)，隨著應用範圍不斷(duàn)增加，半導體行業在蓬勃發展的(dí)同時(shí)，其製程工(gōng)藝也不斷快速提(tí)升。然而，無論工藝如何(hé)改進(jìn)，都離不開鹽酸，氫氧化鈉溶液，過氧化氫溶液(yè)，以及乙醇，丙酮等各類(lèi)高純度(dù)化學品的使用。
這些高純度化(huà)學(xué)品具有強酸，強腐蝕(shí)性等特性(xìng)，在其輸送係統原材料的選擇上，必須慎之又慎。PFA和PTFE因擁有出色的物化性能而進(jìn)入人(rén)們的視野，它們(mén)具有抗酸抗鹼，抗各種有機(jī)溶劑，耐腐蝕等特點(diǎn)，被視為半導體製程中化學品輸送係統的理想材料。
例如，在半(bàn)導體的CMP工藝中，Slurry輸送(sòng)係統的部件就可(kě)選用(yòng)PFA材質。CMP又稱化學機械拋(pāo)光，它(tā)能精確並均匀(yún)地把(bǎ)矽片拋(pāo)光為需要的厚度和平坦度，其中(zhōng)，Slurry供應(yīng)係統與之(zhī)關係密切(qiē)。作為一(yī)種特殊的化學研磨液，Slurry是由二氧化矽等(děng)微(wēi)小顆粒懸浮(fú)在液體中形成的懸浮液，其供應(yīng)係統將持續(xù)為CMP提供(gōng)製程所需的化學研磨液，一旦係統出現(xiàn)異常，會對CMP製(zhì)程造成嚴重損失。
因此，Slurry輸送係統對閥(fá)門的選用要求嚴(yán)格(gé)。比市場上同類(lèi)產品相比🎔，派克漢尼汾旗下的 22係列PFA膜閥(fá)，能更好(hǎo)地(dì)符合用戶需求(qiú)。
雙密封點(diǎn)
Slurry有易結晶的特性🌴，一旦在閥座密封處形成結晶📛，就會影響閥門(mén)的關閉功能，造成泄漏故障。因此，22係(xì)列(liè)膜閥采用膜片密封(fēng)形狀設計，形成雙密封(fēng)點，能有效控製這類(lèi)故障。在閥門關閉時(shí)的應力測(cè)試圖中🧇，可以觀察到雙密(mì)封點🍣，如果其中一處密封點失(shī)效(xiào)，另一處密封點還將繼續工作，從而(ér)提高(gāo)閥門的(dí)工作壽命🎥。第三方的測試數據也很好(hǎo)地證明了這一(yī)點(diǎn)：在輸送鹽酸(suān)和硫酸時，工作壽命超過210萬次；輸(shū)送(sòng)純水時，超過300萬次；輸送Slurry時，雙密(mì)封點的效果(guǒ)明顯，在(zài)係統無故障的條件下，工作壽命超過210萬次。
滑梯狀流道
目前(qián)市(shì)場上應用於Slurry閥門多數采用(yòng)內部無死角(jiǎo)的自排放結(jié)構(gòu)，使閥門在不(bù)使用時能夠排(pái)空。22係(xì)列膜閥采用滑梯狀(zhuàng)流道(dào)設計🛳，一定程度上(shàng)減少了(liǎo)流體在閥(fá)門內部的停留時間，同時減小流體對閥體不同部(bù)位的應力差，從而有(yǒu)效延(yán)長閥(fá)體的壽命。
派克漢尼汾旗下的22係列PFA膜閥設計巧妙，質量卓(zhuó)越，能夠符合半導體製(zhì)程中化學品，尤其是(shì)Slurry輸送的不同要求🛳，更少的故(gù)障以及更長的產品壽命將為客戶帶(dài)來更多的價值。
