PARKER: 微電子行業液冷管(guǎn)路解決方案
2022-05-27 20:09:04
在微電子行(háng)業中，為了精(jīng)準控製(zhì)各類(lèi)製造，檢測類設(shè)備的溫(wēn)度，液冷技(jì)術發揮著(zhuó)至關重要的作用🎁。例如(rú)，在半導體(tǐ)晶(jīng)圓製造過程中，晶(jīng)圓夾具(jù)必須配備液冷係統，用以帶(dài)走(zǒu)由高能(néng)離子轟(hōng)擊(jī)時產生(shēng)的熱量(liáng)，並控製晶圓(yuán)溫度。否則🧈，晶圓(yuán)就(jiù)有可能(néng)因溫度太高而造成光刻膠的(dí)網(wǎng)狀組織化。
由此(cǐ)可見，液冷係統不(bù)僅關乎設備(bèi)的(dí)安(ān)全運行和使用壽命，還關乎(hū)最終產品的良率與性能🖃。在整個液冷係統的組件中，選(xuǎn)用合適的管路(lù)及接(jiē)頭(tóu)非常關鍵。作為流體傳動行業“無泄漏”的先行者(zhě)，派克(kè)漢尼汾可為微電(diàn)子行(háng)業的液冷係統(tǒng)提供多種高品質流體連接解決(jué)方案，滿足不同設備(bèi)的冷卻需(xū)求。
NSS 快換接頭
采用平齊端麵閥芯，斷開無溢流；大流量通流(liú)能(néng)力，提(tí)供(gōng)優異的流量-壓降特性，冷卻性能穩定，能耗低；采用對齊導(dǎo)向即(jí)插(chā)連(lián)接和套筒反推斷(duàn)開設(shè)計，操作方便🌤，不(bù)會意外斷開；不鏽鋼材質，多(duō)種(zhǒng)密封材質和油口選項可選。
O-LOK不鏽鋼接頭
采用端(duān)麵 O 形圈軟(ruǎn)密封，該密封圈(quān)嵌在派克特(tè)有的O形圈鍥形槽(cáo)內🐠，密封性能(néng)更加穩(wěn)定可(kě)靠。這不(bù)僅進一步提升裝配安全性🕳，還能更好實現無泄漏連接，優化安裝(zhuāng)和維護成本。由於連接及(jí)密封性能高度可靠，它能進一步減少微(wēi)電子(zǐ)行業冷卻係(xì)統管(guǎn)路的重復安(ān)裝，降低維護成(chéng)本(běn)🂢。
PTFE軟管
PTFE係列軟管中的(dí)979BXT，，和 可(kě)用於液冷管路，采用PTFE芯管，是(shì)因為其(qí)具有良好的介質兼容性；靈活性(xìng)好；抗扭結和耐(nài)真空；無RFI問(wèn)題。
801軟管(guǎn)
PARKER801軟管是針(zhēn)對冷卻應用而(ér)設計研發的多用(yòng)途軟管產(chǎn)品，可與多種(zhǒng)水基冷卻介質兼容；與旗(qí)下的82係列Push-Lok接頭匹配，無(wú)需扣壓和抱箍，易於安(ān)裝，節省安裝時間和成本；6種顏色可選，便於識別；801軟管采用(yòng)本地化(huà)生(shēng)產🍣，交期快，供(gōng)應安全。
目(mù)前，派克漢尼(ní)汾旗下的高品質流體連接解決(jué)方案已在微電子(zǐ)行業得到成功應用，性能(néng)表現深(shēn)受客戶(hù)認可(kě)。
01
國內某(mǒu)半導(dǎo)體薄膜設備廠商為其潔淨室的去離子水冷(lěng)卻係(xì)統選用NSS快換接頭(tóu)，與位於室外的循環過濾(lǜ)係(xì)統建(jiàn)立快速(sù)連接💨。
在這個應用中(zhōng)，由於(yú)冷(lěng)卻係統位於(yú)潔淨室🂧，快換接頭在實現快速連(lián)接的同時，還要符合潔淨室生產要求(qiú)。NSS快(kuài)換接頭(tóu)材質與去離子水兼容，耐腐蝕(shí)。
接頭斷開時端麵基本無(wú)介質殘留(liú)🕖，可減少汙染物產生，符合潔(jié)淨室生產要求(qiú)；
連接夾氣量少，能(néng)降低冷卻(què)係統的氣泡；
插拔便捷(jié)，作業效率高(gāo)。
此外🍈，還可進一步優化冷卻管路壓降，提升係統能(néng)效。
02
在與另一(yī)家國際知名的半導體設備(bèi)生產商的(dí)合作中，派克漢尼汾攜手國內分(fēn)銷夥伴🗾，為該行業客戶用於(yú)信號發(fā)射(shè)和(hé)芯片傳(chuán)輸檢測設備的水(shuǐ)冷係統提(tí)供管(guǎn)路係統解決方案。
憑借更為可靠(kào)的密封性能，O-LOK不鏽鋼接頭為該係統提供無(wú)泄漏連接。同(tóng)時🌪，在分銷夥(huǒ)伴的大力支持下(xià)，產品交期(qī)準時有保障，滿(mǎn)足客戶貨(huò)期要求，解除客戶後(hòu)顧之憂📑。
此(cǐ)外，派克漢尼(ní)汾還可提供Legris 接頭和氣管，Rectus不(bù)鏽鋼快換接頭和(hé)PS係列(liè)旋轉接頭等產(chǎn)品供客戶選擇。
