PARKER: 高品質減壓閥 助力微電子製造
2022-06-13 09:56:18
集成(chéng)電(diàn)路製造的(dí)過程(chéng)離不開各類不同純度，不同壓力(lì)，性(xìng)質各異的氣體(tǐ)參與。人們通過各種各樣的減壓閥來控製這些氣(qì)體壓力🃲，如果說這些減壓閥是氣體(tǐ)控製零件中(zhōng)的皇冠的話，那麼派克漢尼汾旗下的SQ2MICRO/SMSQ2MICRO係列超高純減壓閥(fá)就(jiù)是這個皇冠(guān)上的明珠。
SQ2MICRO/SMSQ2MICRO係列減壓閥從誕生至今，始終致力於立足行業應用的前沿領域。
● 它針對超高純應用而(ér)設計，先進的性能和規格使其非(fēi)常適用於關鍵的半導體製造設備。
● MFC是影響(xiǎng)集成電(diàn)路製造(zào)的可重復性(xìng)及良率的重要(yào)組件。SQ2MICRO/SMSQ2MICRO係列減壓(yā)閥能提(tí)供非常精準和可靠的壓(yā)力控製，讓MFC(質量流(liú)量計)的表現更(gēng)加出色。
● 除此之外(wài)，它還在氣密(mì)完整性和顆粒物(wù)生成方麵表現(xiàn)出色🃏，這些對於減少半導體(tǐ)製程的汙染至(zhì)關重要。
那麼🐘，為什麼SQ2MICRO/SMSQ2MICRO係列減壓閥有如此好的表現(xiàn)呢(ní)？
答案藏在細節之中：
首先，減(jiǎn)壓閥本體材料采用超過SEMI F20 標準要求的(dí)VERICLEANTM 316L不鏽鋼，閥門內部為順滑流道結構且經(jīng)過(guò)全電(diàn)拋光處理🧴。同(tóng)時，閥門使用(yòng)C-22哈氏合金作為膜(mó)片(piàn)和閥芯的材料，聯動式(shì)閥芯設計使減壓閥內部沒有螺紋和彈簧（螺(luó)紋(wén)和彈簧是閥門內部顆粒物生成的主(zhǔ)要原因）。如此一來，閥(fá)門在(zài)具備強大(dà)抗腐蝕(shí)能力(lì)的同時，顆粒物生(shēng)成的可能性(xìng)也非常(cháng)低(dī)🍢。
其次，聯(lián)動式結(jié)構設計使得閥芯具備自中心功能(néng)🌪，在不同氣流形態(tài)下能保持在(zài)中心位置，結(jié)合更薄更靈敏的哈氏合金膜片(piàn)，可大幅縮(suō)短減壓閥的響應時間，從而提高出(chū)口壓力的穩定性📔。
最後，該係列減壓閥閥門體(tǐ)積(jī)經過(guò)優化，安裝空間更小，可有效縮小集成電路製造設備的體積🗹，增加潔淨廠房的利用率。與此(cǐ)同時(shí)，減少閥門內部(bù)空(kōng)間，在一(yī)定程度(dù)上縮(suō)短設備(bèi)吹掃和抽真(zhēn)空時(shí)長，提(tí)高工藝流程效率(shuài)。
此外(wài)，派克(kè)漢尼汾(fén)的製造和(hé)測試流程也為(wéi)SQ2MICRO/SMSQ2MICRO係列減壓閥的高品質保駕護(hù)航：
在100級(jí)的潔淨室中完成組裝🧂，測試，調試以及包裝
閥門通過氦檢漏測試(shì)，達(dá)到SEMI行業標準
閥(fá)門經(jīng)過出口壓力(lì)調試
SQ2MICRO/SMSQ2MICRO係(xì)列減壓閥(fá)還能提供眾多選項，以符合不同應(yīng)用需(xū)求：
不同的接口方式(shì)🏙，包括Faceseal/Surface Mount
不同(tóng)的流通能力， Cv值包括 0.06和0.15
不同材質的核心部件(jiàn)🎗，閥芯為 Hastelloy C-22🃧，閥座為VESPEL🏒，以應對更嚴苛的應用
如果您是集(jí)成電路製造(zào)設(shè)備的設計者(zhě)，越早選用(yòng)SQ2MICRO/SMSQ2MICRO係列減壓閥，將(jiāng)越早(zǎo)獲得成功。
