微(wēi)電子行業的密封(fēng)解決方(fāng)案
2023-05-04 14:57:30
在微電子行業，密封材料麵臨嚴苛挑戰。它們(mén)要從容應對等(děng)離子(zǐ)，氣(qì)體，高溫，酸鹼等不同腐蝕(shí)，保(bǎo)持“纖塵不染(rǎn)”的高貴品(pǐn)質(zhì)，滿足行業(yè)對密封材料的高潔(jié)淨(jìng)度要求😣。否則🧍，密封材料容易出現腐蝕，溶脹(zhàng)，老化等(děng)問(wèn)題，導致(zhì)密封失效(xiào)。
派克漢尼汾旗下的FFKM（全氟橡膠）無懼嚴(yán)苛工況，它們擁有低顆粒物(wù)析出，高潔淨度🛃，耐化學介質及耐電(diàn)離輻射等高(gāo)品質性能，耐受溫度可(kě)高達(dá)320℃🀣，FFKM由優質的氟(fú)碳化合物組成，其中超高(gāo)潔淨的FFKM在單獨的製造單元生產，保(bǎo)護材料(liào)不受塵(chén)埃🤓，模具塗料等汙染，為材(cái)料潔淨度保駕(jià)護航。
針對微電(diàn)子行業的具體應用工(gōng)況，派克漢尼汾旗(qí)下不(bù)同係列的FFKM各有(yǒu)所(suǒ)長🌫，下麵，我們就來(lái)解鎖其中兩款(kuǎn)FFKM，看看它們所(suǒ)擁有(yǒu)的神奇密封術吧！
[ 關鍵詞 ] 耐壓變
雖然FFKM耐高溫和耐化學腐蝕能力非常優秀，但耐壓(yā)變性能(néng)卻相(xiāng)對較差。如(rú)果密封件的回彈能力減弱發生形變🕏，其(qí)橡膠(jiāo)特性就會受到嚴重影響，進(jìn)而導致(zhì)泄(xiè)漏。針對這一行業難題，派克漢尼汾推出ULTRA FF156
在實驗室，我們將相同硬(yìng)度的FF156和其他類似耐(nài)化學腐蝕的FFKM產(chǎn)品進行耐(nài)壓變性能對(duì)比測(cè)試。
數(shù)據顯示，FF156在耐壓變性能方麵優於其(qí)他兩種(zhǒng)材(cái)料🧉，使用(yòng)壽命更長。
[ 關鍵詞(cí) ]顆粒(lì)物析出，抗腐蝕能力(lì)
在使用NF3和O2等離子體進行清潔，沉積SiH4的(dí)化學氣相沉(chén)積（HDP-CVD）工藝中(zhōng)，一(yī)家製造商使用行業領先的(dí)密封件🧴，還是發生了腐蝕。如(rú)下圖所示，材料(liào)I和(hé)II發生嚴重降解，約20%的密封材質受到侵(qīn)蝕；而在(zài)相同的(dí)使(shǐ)用(yòng)時間內，FF302 O形圈沒有受(shòu)到侵(qīn)蝕。
事實上🖎，FF302-75的(dí)實驗(yàn)表明，它能夠耐受具有強腐蝕性的蝕刻和清潔(jié)化學成分。因此，越來越多的半導體行業(yè)客戶開始采用FF302🛩，以降低成本。
