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派克 FRN1000 減壓閥 - FR1000係(xì)列(liè)

FR1000 係列在(zài)半導體和其他清潔(jié)的天(tiān)然氣輸(shū)送超高純度(dù)的調節過程, 低到中等流量🔐,這個係列的閥(fá)門在閥歧(qí)管(guǎn)箱,煤氣櫃,和其他半導體製造等(děng)行業非常廣泛的應用🤜。

作為一款(kuǎn)用(yòng)於氣(qì)體精密控製的通用減壓閥(fá),FRN1000減壓閥進口壓力可達3500psig,Cv 值 0.09 和0.15 可選(xuǎn)。

膜片與閥體間采(cǎi)用金屬(shǔ)對金屬密封
標準(zhǔn)膜片材料為Hastelloy®
鈍化工(gōng)藝(yì)
可用於(yú)氧氣應(yīng)用


FR1000 係列在半導體和其他清潔(jié)的天然氣(qì)輸送超高純度的調節(jié)過程(chéng)🕹, 低到中等(děng)流量,這個係列的閥門在閥歧管箱,煤(méi)氣櫃(guì),和其他半導體製造等行(háng)業(yè)非常廣泛的應用💰。

流量係數: 0.09, 0.15 Cv
最大(dà)入口額定(dìng)壓力(lì): 3500 psig
出口額定(dìng)壓力: 出(chū)口(kǒu)壓力1-30 psig, 2-60 psig, 2-100 psig, 5-150 psig, 1-10 psig
閥座材料: 聚三氟氯乙烯
端口(kǒu)數量: 2
端口類型: 1/4"麵密封(fēng),3/8"麵密封
端(duān)口連接: 外螺紋(wén),外螺(luó)紋🦏,內螺紋,內(nèi)螺紋
閥體材料: 316L不鏽鋼,316L不(bù)鏽鋼雙融
選(xuǎn)件: 鈉(nà),哈氏合金裝飾(提升閥)
內部(bù)泄漏率: 內部泄漏率(shuài)為4 x 10 -8 scc/sec He
工作溫度: -40°F to 150°F (-40°C to 66°C)
隔膜材料🕸: 哈氏合(hé)金的C-22材料
閥芯材料: 316L 不鏽鋼
過濾器材料🕨: 哈氏(shì)合金的C-22材料
表麵(miàn)處(chǔ)理(lǐ): 表麵(miàn)組糙度10RA(0.25微米),25RA(可(kě)選)

體積🏓: 0.49 cm3

FR1000係列調節閥是非束縛隔膜的減壓閥🧠, 提供低至中等流量的(dí)能力與入(rù)口壓力為3500 psig.FR1000提供工(gōng)藝氣體導致在一個穩定(dìng)的流量和下遊係統使其成為閥箱🎛,氣瓶櫃(guì)優良的選(xuǎn)擇壓力提供正確的(dí)控製,和許(xǔ)多半導體製造中(zhōng)的應(yīng)用.

標準的(dí)哈氏合金C-22®隔膜和綜合過濾促進壽命長性能的同時,金(jīn)屬對金屬(shǔ)密封(fēng)膜片以獲得高度密封性。
FR1000提供(gōng)相同的質量,穩定性和性能水平的派克產品的預期,在一個高度競爭的價格點.新生產綫補充(chōng)了我們現有的,保費qr4000和hf1200係列穩壓器,和組合,將廣(guǎng)泛應用在(zài)半導(dǎo)體製造中的(dí)應用🏬。

市場🏡:
• 半導體製(zhì)造
• 天(tiān)然氣公司

特點/好(hǎo)處🚩:
• 金屬-金屬膜片密封實現泄(xiè)漏(lòu)完整性
• 製造(zào)超高純度氣體(tǐ)輸送應用
• 10英寸RA表麵光潔度
• 鈍化和電解拋光(guāng)
• 綜(zōng)合過濾
• 標準hastelloy® 膜片

應用:
• 工具掛(guà)鉤(gōu)
• 閥門歧管箱
• 處理氣體櫃
• “使用點(diǎn)”壓力調(tiáo)節

接頭&管&閥

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